
更高產(chǎn)能可達(dá)到8000pcs/h
可根據(jù)客戶需求選配在線隱裂檢測
特制精密陶瓷吸盤,減少硅片劃傷
技術(shù)參數(shù) | |
|---|---|
| 技術(shù)參數(shù) | 相關(guān)參數(shù) |
| 產(chǎn)能 | 4000/6500/8000 pcs/h |
| 硅片列數(shù) | 5/8/10 |
| 硅片尺寸 | 166mm-210mm |
| 適用花籃 | 100 cassette |
| 碎片率 | ≤0.03% |
| 開機(jī)率 | ≥98% |
| 耗氣量 | 200L/min |
| 具體參數(shù)如有變動(dòng),本公司不另行通知! | |